淺析晶圓接觸角的使用方法

更新時間：2021-05-26

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　　晶圓接觸角用于測試液體對固體的浸潤性，即各種液體對各種固體材料所形成的的大小判斷其浸潤水性。方法是在一固體水平平面上滴一液滴，測試固體表面上的固—液—氣三相交界點(diǎn)處，其氣—液界面和固—液界面兩切線把液相夾在其中所成的角即為接觸角。

　　本儀器提供了Owens二液法計(jì)算表面能的功能，具體方法如下：

　　利用已知液體的表面能γL和其分項(xiàng)γLD、γLP，（γLD為色散力，γLP為極性力）并測出液體在固體表面上的晶圓接觸角測定儀θ，側(cè)通過程序就可以計(jì)算出固體的表面能。用Owens法計(jì)算表面能時，所選的兩種測試液必須滿足如下的條件：

　　1.兩種液體的γLP/γLD值不能接近，而且兩者的差距越大越好；

　　2.兩種液體必須有不同的極性，即必須從極性液體中和非極性液體中各選一種液體。

　　3.測試液不能使固體的表面發(fā)生溶解、膨脹和變形等。

　　在計(jì)算表面能時，需要將液體A和液體B的色散力、極性力和分別測得的接觸角填入如圖所示的界面中。然后按“OK”鍵即可以計(jì)算出固體的表面能。

　　兩基點(diǎn)法介紹：

　　晶圓接觸角應(yīng)用領(lǐng)域包含：玻璃，LCD、LCM平板顯示器、藍(lán)寶石玻璃、手表鏡片,手機(jī)和筆記本電腦的按鍵及外殼,CMOS攝像頭及數(shù)碼相機(jī)零組件,Si,InP,GaAs晶圓、晶片、光纖、電路板、X-ray鏡片、UV/IR鏡片、光盤讀寫頭零組件、光學(xué)元件等的水滴、接觸角。

　　1、點(diǎn)選“基點(diǎn)”項(xiàng)。

　　2、用鼠標(biāo)點(diǎn)取兩基點(diǎn)，先左后右，結(jié)果自動計(jì)算并顯示。如果點(diǎn)擊錯誤，可以點(diǎn)擊鼠標(biāo)右鍵，取消選定，重新測算。

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